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微電子學院創新港系列講座
發布時間  :  2019-11-19點擊量  :  

講座題目:微波毫米波頻段導電薄膜電導率測量研究

报 告 人:叶鸣 副教授

講座時間:201911719:00-20:30

講座地點:創新港5號巨構5-1005教室

組織者:西安交通大學微電子學院

講座摘要:

隨著集成電路技術的進一步發展,高速互連技術成爲實現高性能集成電路最具挑戰的技術之一。相比于低頻應用而言,工作于微波毫米波頻段的導電薄膜的導電性能可能顯著區別于塊狀導體材料,其中重要的影響因素至少包括以下兩個方面:一是由于薄膜制備工藝自身特殊性導致薄膜電導率通常小于塊狀材料電導率,另一方面則是由于表面粗糙度的存在導致高頻條件下材料等效電導率小于理想光滑情形。基于此,開展微波毫米波頻段的導電薄膜電導率測量研究具有重要研究意義。本報告主要介紹微波圓柱諧振腔法和毫米波准光腔法兩種導電薄膜電導率測量的原理及裝置。

報告人簡介:

 叶鸣 博士,http://gr.xjtu.edu.cn/c/document_library/get_file?folderId=2443105&name=DLFE-90100.jpg副教授,博士生導師。2014年畢業于西安交通大學電子科學與技術專業,獲博士學位(師從賀永甯教授),後留校任教,2017年晉升爲副教授。20167月至20177月國家公派至加拿大阿爾伯特大學任訪問學者,從事微波測量與傳感器研究。先後主持國家自然科學基金2項、國家重點實驗室開放課題1項、上海航天研究所委托課題1項,在Journal of Applied PhysicsIEEE MWCL、物理學報等國內外期刊發表論文多篇,申請/授權發明專利多項。